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【实用新型】镀膜室及镀膜设备_光驰科技(上海)有限公司_202322656579.4 

申请/专利权人:光驰科技(上海)有限公司

申请日:2023-09-28

公开(公告)日:2024-04-23

公开(公告)号:CN220827454U

主分类号:C23C14/50

分类号:C23C14/50;C23C14/22

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.23#授权

摘要:本实用新型属于真空镀膜技术领域,公开了镀膜室及镀膜设备。该镀膜室包括镀膜腔、第一驱动件、第二驱动件和镀膜源,第一驱动件与第一旋转盘传动连接,第一旋转盘设于镀膜腔内,第一驱动件能使第一旋转盘自转;第二驱动件与多个第二旋转盘传动连接,第二驱动件能使第二旋转盘自转,多个第二旋转盘转动连接于第一旋转盘上,第二旋转盘用以放置基板;镀膜源分居于第二旋转盘的上下两侧;镀膜设备包括装卸片室、设于装卸片室下游的搬送室和以上的镀膜室,镀膜室设于搬送室的下游。在本实用新型中,该镀膜室及镀膜设备能使基板的公转和自转相对独立,基板的自转转速能自由调节,提升镀膜设备的适应性。

主权项:1.镀膜室,包括镀膜腔100,其特征在于,还包括:第一驱动件10,与第一旋转盘11传动连接,所述第一旋转盘11设于所述镀膜腔100内,所述第一驱动件10能使所述第一旋转盘11自转;第二驱动件20,与多个第二旋转盘21传动连接,所述第二驱动件20能使所述第二旋转盘21自转,多个所述第二旋转盘21转动连接于所述第一旋转盘11,所述第二旋转盘21用以放置基板400;镀膜源30分居于所述第二旋转盘21的上下两侧。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 光驰科技(上海)有限公司 镀膜室及镀膜设备

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