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用于基板库的卸载装置、基板库系统 

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申请/专利权人:亚席斯自动化系统有限公司

摘要:本发明涉及一种用于基板库的卸载装置,其中,所述基板库3、4、5具有多个抽屉7,在抽屉中可以安置用于存储或临时存储的基板,具有至少一个上面可以放置基板的、可驱控的传送带25,具有至少一个可驱控的夹持臂10,该夹持臂被构造用于将至少一个基板从所述基板库3、4、5的抽屉中推出到所述传送带25上,其中,所述传送带25和所述夹持臂10布置在一个共同的且可移动地支撑的载体8上,其中,所述夹持臂10至少在初始位置上布置在所述传送带25的下方,以从下方夹持至少一个基板向外推出。

主权项:1.一种用于基板库的卸载装置,其中,所述基板库3、4、5具有多个抽屉7,在所述抽屉中能够安置用于存储或临时存储的基板,具有至少一个上面能够放置基板的、可驱控的传送带25,具有至少一个可驱控的夹持臂10,所述夹持臂被构造用于将至少一个基板从所述基板库3、4、5的抽屉中推出到所述传送带25上,其中,所述传送带25和所述夹持臂10布置在一个共同的且可移动地支撑的载体8上,其中,所述夹持臂10至少在初始位置上布置在所述传送带25的下方,以从下方夹持至少一个基板向外推出,其特征在于,所述夹持臂10被构造用于从所述传送带25上方的抽屉7之一中向外推出基板堆29,所述基板堆29包含多个上下叠置的基板30_1-30_5,在所述传送带25上方布置分离装置15,所述基板堆29能够由所述夹持臂10推入到所述分离装置,并且所述分离装置15被构造成将基板堆29的最下面的基板30_5从基板堆29中分离开,并将其放置在下方的传送带25上。

全文数据:

权利要求:

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