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申请/专利权人:北矿新材科技有限公司
摘要:本发明属于材料制备领域,具体涉及一种适用于半导体致密结构高耐压绝缘涂层的制备方法,包括以下步骤:半导体基体的预处理;以纳米级原料制备的陶瓷粉末,获取第一原料;将所述第一原料进行造粒,并对造粒后的第一原料进行等离子烧结,得到第二原料;对所述第二原料进行粒度级配,获取第三原料;在所述经过预处理的半导体基体上,利用所述第三原料通过等离子喷涂工艺制备适用于半导体致密结构高耐压绝缘涂层,本发明采用纳米级原料,能有效的提升涂层高温服役稳定性。通过对原材料造粒、烧结、粒度级配提高绝缘涂层的结合强度与寿命,且在特高压工况下能长时间工作,并通过等离子喷涂工艺提高涂层的使用温度及韧性。
主权项:1.一种适用于半导体致密结构高耐压绝缘涂层的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤100:对半导体基体进行预处理;步骤200:采用纳米级原料制备陶瓷粉末,获取第一原料;步骤300:将所述第一原料进行造粒,并对造粒后的第一原料进行等离子烧结,得到第二原料;步骤400:对所述第二原料进行粒度级配,获取第三原料;步骤500:在所述经过预处理的半导体基体上,利用所述第三原料通过等离子喷涂工艺制备适用于半导体致密结构高耐压绝缘涂层。
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百度查询: 北矿新材科技有限公司 一种适用于半导体致密结构高耐压绝缘涂层的制备方法
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