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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
申请日：2024-04-09
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN118003367A
主分类号：B25J18/00
分类号：B25J18/00;B25J11/00;H01L21/683;H01L21/66
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.05.28#实质审查的生效;2024.05.10#公开
摘要：本申请提供一种机械手臂及探针台。机械手臂包括：手臂本体，手臂本体具有承载面，承载面用于运输晶圆，手臂本体具有气路及多个气孔，气路用于流通气体，多个气孔显露于承载面，并用于出射气体；及多个涡流盘，涡流盘承载于承载面，涡流盘还罩设于气孔在承载面上的开口，涡流盘的周侧与承载面之间具有间隙，气孔出射的气体至少部分自间隙出射至承载面，多个涡流盘彼此为间隔设置，且多个涡流盘中的一者罩设于多个气孔中的一者，多个涡流盘中的另一者罩设于多个气孔中的另一者；其中，手臂本体还具有导气槽，导气槽显露于承载面，用于将气孔出射的气体至少部分导流至手臂本体的外部，从而提高机械手臂对超薄晶圆的运输精准度及稳定性。
主权项：1.一种机械手臂，其特征在于，所述机械手臂包括：手臂本体，所述手臂本体具有承载面，所述承载面用于运输晶圆，所述手臂本体具有气路及多个气孔，所述气路设置于所述手臂本体内部，所述气路的一端连通于气体源，所述气路的另一端连通于所述多个气孔，所述气路用于流通气体，所述多个气孔显露于所述承载面，并用于出射气体；及多个涡流盘，所述涡流盘承载于所述承载面，所述涡流盘还罩设于所述气孔在所述承载面上的开口，所述涡流盘的周侧与所述承载面之间具有间隙，所述气孔出射的气体至少部分自所述间隙出射至所述承载面，所述多个涡流盘彼此为间隔设置，且所述多个涡流盘中的一者罩设于所述多个气孔中的一者，所述多个涡流盘中的另一者罩设于所述多个气孔中的另一者；其中，所述手臂本体还具有导气槽，所述导气槽显露于所述承载面，用于将所述气孔出射的气体至少部分导流至所述手臂本体的外部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 机械手臂及探针台
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