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申请/专利权人：湘潭大学
摘要：本发明属于基材表面改性技术领域，公开了一种同时提高ta‑C涂层力学性能和厚度的方法，具体方法为，所述涂层的结构为金属层ta‑C层n多层涂层；其中，n为2‑6，所述金属层和所述ta‑C层的厚度比为1:2‑4，所述ta‑C层的厚度为180‑220nm，ta‑C层采用PVD法分阶段多次沉积，并在每次沉积后进行真空原位冷却。本发明通过沉积多层涂层，利用中间金属层释放应力，从而提升涂层的整体厚度，同时通过选用合适的金属层、合适的循环周期、以及金属层与多阶段ta‑C层的厚度比，释放ta‑C内应力，从而提升涂层的整体厚度，延长工件使用寿命，进而适用于不同的应用环境。
主权项：1.一种同时提高ta-C涂层力学性能和厚度的方法，其特征在于，所述涂层的结构为金属层ta-C层n多层涂层；其中，n为2-6，所述金属层和所述ta-C层的厚度比为1:2-4。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湘潭大学 一种同时提高ta-C涂层力学性能和厚度的方法
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