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一种兼具高硬度和自润滑性能的AlCrVTiSiN高熵合金涂层及其制备工艺 

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申请/专利权人:天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)

摘要:本发明公开了一种兼具高硬度和自润滑性能的AlCrVTiSiN高熵合金涂层及其制备工艺,属于涂层技术领域。采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积高熵合金涂层。制备AlCrVTiSiN高熵合金涂层时:本底真空度为3.0×10‑3Pa,沉积压强为2.8‑3.0Pa,脉冲偏压‑100~‑110V,频率45‑50KHz,脉宽6‑8μs;沉积温度为430‑470℃,AlCrSi靶电流95‑100A,AlTiSi靶电流80‑85A,V靶电流75‑95A,通入Ar和N2;本发明通过工艺设计及优化V元素含量,制备出兼具高硬度、自润滑能力的高熵合金涂层。

主权项:1.一种兼具高硬度和自润滑性能的AlCrVTiSiN高熵合金涂层,其特征在于:该高熵合金涂层沉积于金属硬质合金基片、不锈钢片或硅片基体上,所述AlCrVTiSiN高熵合金涂层中,V为17.5-23.05wt.%,Al为17.0-21.0wt.%,Cr为7.2-9.0wt.%,Ti为5.0-6.5wt.%,Si为3.5-4.5wt.%,N为42-46wt.%。

全文数据:

权利要求:

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