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申请/专利权人：常州比太科技有限公司
摘要：本发明涉及硅片技术领域，具体涉及一种硅片生产烘干装置及其烘干方法；本发明提供了一种硅片生产烘干装置，包括：烘箱，所述烘箱内部中空，所述烘箱适于烘干硅片；硅片花篮，所述硅片花篮适于承载硅片，所述硅片花篮适于放入烘箱内；缓冲定位单元，所述缓冲定位单元固定在所述烘箱内底壁，且所述缓冲定位单元适于从两侧限位硅片花篮；其中，硅片花篮竖直放入烘箱内时，所述缓冲定位单元适于减缓硅片花篮的移动速度；缓冲定位单元被硅片花篮挤压形变后，所述缓冲定位单元适于带动烘箱上端的密封圈同步向上移动，以提高烘箱与箱盖的气密性。
主权项：1.一种硅片生产烘干装置，其特征在于，包括：烘箱（1），所述烘箱（1）内部中空，所述烘箱（1）适于烘干硅片；硅片花篮（2），所述硅片花篮（2）适于承载硅片，所述硅片花篮（2）适于放入烘箱（1）内；缓冲定位单元（3），所述缓冲定位单元（3）固定在所述烘箱（1）内底壁，且所述缓冲定位单元（3）适于从两侧限位硅片花篮（2）；其中，硅片花篮（2）竖直放入烘箱（1）内时，所述缓冲定位单元（3）适于减缓硅片花篮（2）的移动速度；缓冲定位单元（3）被硅片花篮（2）挤压形变后，所述缓冲定位单元（3）适于带动烘箱（1）上端的密封圈（13）同步向上移动，以提高烘箱（1）与箱盖的气密性。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州比太科技有限公司 一种硅片生产烘干装置及其烘干方法
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