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申请/专利权人:常州比太科技有限公司
摘要:本发明涉及硅片技术领域,具体涉及一种硅片生产烘干装置及其烘干方法;本发明提供了一种硅片生产烘干装置,包括:烘箱,所述烘箱内部中空,所述烘箱适于烘干硅片;硅片花篮,所述硅片花篮适于承载硅片,所述硅片花篮适于放入烘箱内;缓冲定位单元,所述缓冲定位单元固定在所述烘箱内底壁,且所述缓冲定位单元适于从两侧限位硅片花篮;其中,硅片花篮竖直放入烘箱内时,所述缓冲定位单元适于减缓硅片花篮的移动速度;缓冲定位单元被硅片花篮挤压形变后,所述缓冲定位单元适于带动烘箱上端的密封圈同步向上移动,以提高烘箱与箱盖的气密性。
主权项:1.一种硅片生产烘干装置,其特征在于,包括:烘箱(1),所述烘箱(1)内部中空,所述烘箱(1)适于烘干硅片;硅片花篮(2),所述硅片花篮(2)适于承载硅片,所述硅片花篮(2)适于放入烘箱(1)内;缓冲定位单元(3),所述缓冲定位单元(3)固定在所述烘箱(1)内底壁,且所述缓冲定位单元(3)适于从两侧限位硅片花篮(2);其中,硅片花篮(2)竖直放入烘箱(1)内时,所述缓冲定位单元(3)适于减缓硅片花篮(2)的移动速度;缓冲定位单元(3)被硅片花篮(2)挤压形变后,所述缓冲定位单元(3)适于带动烘箱(1)上端的密封圈(13)同步向上移动,以提高烘箱(1)与箱盖的气密性。
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