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基于上下文的缺陷检验 

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申请/专利权人:科磊股份有限公司

摘要:公开一种基于上下文的检验系统。所述系统可包含光学成像子系统。所述系统可进一步包含通信地耦合到所述光学成像系统的一或多个控制器。所述一或多个控制器可经配置以:接收一或多个参考图像;接收样本的一或多个测试图像;在检验运行时间期间使用非监督式分类器产生一或多个概率上下文图;在所述检验运行时间期间将所述经产生的一或多个概率上下文图提供到监督式分类器;及将所述监督式分类器应用于所述经接收的一或多个测试图像以识别所述样本上的一或多个DOI。

主权项:1.一种检验系统,其包括:一或多个控制器,其包含用于执行存储在存储器中的程序指令的一或多个处理器,所述一或多个程序指令经配置以致使所述一或多个处理器:接收一或多个参考图像;接收样本的一或多个测试图像,所述一或多个测试图像包含一或多个所关注缺陷DOI;在检验运行时间期间使用非监督式分类器产生一或多个概率上下文图;在所述检验运行时间期间将所述经产生的一或多个概率上下文图提供到监督式分类器;及将所述监督式分类器应用于所述经接收的一或多个测试图像以识别所述样本上的所述一或多个DOI。

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