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申请/专利权人：中南大学
摘要：本发明公开了一种差分解耦双螺线气敏间隙传感元件及其制备方法，属于传感器技术领域。差分解耦双螺线气敏间隙传感元件包括衬底、下层气体敏感材料螺线薄膜、下层绝缘薄膜、中心电极、中层气体敏感材料导线薄膜、上层绝缘薄膜、上层气体敏感材料螺线薄膜；上层气体敏感材料螺线薄膜暴露在环境中，气体氛围发生变化会导致其电导率发生变化，下层气体敏感材料螺线薄膜被下层绝缘薄膜完全覆盖不会发生变化，通过中心电极和中层气体敏感材料薄膜导线构成差分结构可以解耦气体信号并计算间隙信号；差分解耦双螺线气敏间隙传感元件能够用于气体和间隙的同时测量，适用于电子皮肤或复杂仪器狭小曲面间参数测量等领域。
主权项：1.一种差分解耦双螺线气敏间隙传感元件，其特征在于包括衬底、下层气体敏感材料螺线薄膜、下层绝缘薄膜、下层中心电极、中层气体敏感材料导线薄膜、上层绝缘薄膜、上层中心电极、上层气体敏感材料螺线薄膜；上层气体敏感材料螺线薄膜暴露在环境中，气体氛围发生变化会导致其电导率发生变化，下层气体敏感材料螺线薄膜被下层绝缘薄膜完全覆盖不会发生变化，双螺线构成差分结构可以解耦气体信号并计算间隙信号，能够用于气体和间隙的同时测量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中南大学 一种差分解耦双螺线气敏间隙传感元件及其制备方法
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