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申请/专利权人:株式会社泰克捷普
摘要:本发明提供一种细径光束生成装置,其能够根据从任意光源发出的光,在任意位置生成预定直径大小以下的细径光束。所述细径光束生成装置具有对线光源进行整形的光束整形单元,光束整形单元具有聚光部,线光源配置在聚光部的光轴上,线光源的所述光轴上的中心位置配置在比聚光部的焦点位置远离聚光部的位置。
主权项:1.一种细径光束生成装置,其特征在于,所述细径光束生成装置具有:光束整形单元,其对线光源进行整形,所述光束整形单元具有聚光部,所述线光源配置在所述聚光部的光轴上,所述线光源的所述光轴上的中心位置配置在比所述聚光部的焦点位置远离所述聚光部的位置。
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