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真空泵、真空泵的轴承保护构造以及真空泵的旋转体 

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申请/专利权人:埃地沃兹日本有限公司

摘要:本发明提供一种能够在磁轴承无法控制时降低旋转体作用在触底轴承上的动能的真空泵。真空泵100具备设置有旋转叶片102的旋转体103、设置在旋转体的中心的转子轴113、悬浮支承转子轴的磁轴承114、被设置为与转子轴之间存在间隙、且在磁轴承无法控制时支承转子轴的触底轴承155,156,具有保护触底轴承的轴承保护构造,轴承保护构造由设置在旋转体和旋转体周边的部件的至少一方的突出部160构成,在转子轴向触底轴承发生触底时,旋转体经由突出部与旋转体周边的部件接触,从而降低旋转体作用在触底轴承上的动能。

主权项:1.一种真空泵,具备:旋转体,所述旋转体设置有旋转叶片;转子轴,所述转子轴设置在所述旋转体的中心;磁轴承,所述磁轴承悬浮支承所述转子轴;触底轴承,所述触底轴承被设为与所述转子轴之间存在间隙,在所述磁轴承无法控制时支承所述转子轴,其特征在于,具有保护所述触底轴承的轴承保护构造,所述轴承保护构造由设置在所述旋转体和所述旋转体周边的部件的至少一方的突出部构成,所述转子轴向所述触底轴承发生触底时,所述旋转体经由所述突出部与所述旋转体周边的部件接触,从而降低所述旋转体作用在所述触底轴承上的动能。

全文数据:

权利要求:

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