首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

半导体量测系统、量测方法及存储介质 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:睿励科学仪器(上海)有限公司

摘要:本发明提供了半导体量测系统、量测方法及存储介质。所述半导体量测系统包括柯勒照明模块、光学模块及探测模块。所述柯勒照明模块依次包括宽光谱光源、波长选择单元、第一透镜、视场光阑、第二透镜、孔径光阑及物镜。所述光学模块包括第一分光单元及第二分光单元。所述探测模块包括所述光谱仪及所述相机。通过同时包括带有波长选择单元的柯勒照明模块、高倍率的第一物镜、低倍率的第二物镜、光谱仪和相机,本发明既能进行大区域薄膜厚度量测,又能进行小区域薄膜厚度量测和微观结构检测,能够实现各类半导体参数的“一站式”量测,从而有效降低半导体量测的经济成本,并提升半导体量测的效率。

主权项:1.一种半导体量测系统,其特征在于,包括:柯勒照明模块,依次包括宽光谱光源、波长选择单元、第一透镜、视场光阑、第二透镜、孔径光阑及物镜,其中,所述物镜包括高倍率的第一物镜及低倍率的第二物镜,所述波长选择单元至少用于分时地从所述宽光谱光源提供的原始光线中滤出多种不同中心波长的窄波段照明光线,所述孔径光阑与宽光谱光源平面共轭,而所述视场光阑与后端的待测样品所在的样品平面共轭,用于将多个不同视场下的窄波段照明光线均平行地输出到所述第一物镜及所述第二物镜;光学模块,包括第一分光单元及第二分光单元,其中,所述第一分光单元用于先将所述柯勒照明模块提供的窄波段照明光线传输到所述第一物镜及所述第二物镜,以经由所述第一物镜或所述第二物镜均匀照射其物方的所述待测样品,再将所述待测样品产生的反射光线传输到像方的第二分光单元,以经由所述第二分光单元将所述反射光线分别传输到后端的光谱仪和相机;探测模块,包括所述光谱仪及所述相机,其中,所述光谱仪用于采集所述第二分光单元提供的反射光线的光谱信息,以指示所述待测样品表面大于预设尺寸的第一区域内的平均薄膜厚度,所述相机用于根据传输到其探测表面的反射光线,生成对应的样品图像,以指示所述待测样品表面小于或等于所述预设尺寸的第二区域内的薄膜厚度和或微观结构;以及控制器,被配置为:获取指示待测区域尺寸的第一控制指令;响应于所述第一控制指令指示所述待测区域小于或等于所述预设尺寸,判定所述待测区域为第二区域,从而经由所述波长选择单元分时地向所述第一物镜物方的待测样品表面提供多种不同中心波长的窄波段照明光线,并经由所述相机分别采集对应的第二区域在各所述窄波段照明光线下的样品图像,以确定所述第二区域表面的薄膜厚度;以及响应于所述第一控制指令指示所述待测区域大于所述预设尺寸,判定所述待测区域为第一区域,从而经由所述波长选择单元向所述第二物镜物方的待测样品表面提供宽光谱光线,并根据所述光谱仪采集的光谱信息,确定所述第一区域内的平均薄膜厚度。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 睿励科学仪器(上海)有限公司 半导体量测系统、量测方法及存储介质

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。