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一种电弧蒸发装置 

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申请/专利权人:纳狮新材料有限公司杭州分公司;纳狮新材料有限公司;东莞瀚晶纳米材料有限公司

摘要:本发明公开了一种电弧蒸发装置,属于电弧离子镀技术领域,包括:真空腔体,其内壁设有蒸发槽;靶材,设于蒸发槽内,靶材上远离蒸发槽底部的一侧表面配置有环形的沟槽;脉冲电源,脉冲电源的阳极与真空腔体相连,阴极与靶材相连;磁性单元,设于真空腔体的外侧,并与靶材对应设置;包括中心磁铁和环形磁铁,中心磁铁设于环形磁铁的内部,环形磁铁的极性与中心磁铁的极性相反,并且靶材位于中心磁铁的磁力线覆盖范围之内;环形线圈。本发明结构简单、易维护,并且能够有效降低涂层液滴,降低涂层表面粗糙度。

主权项:1.一种电弧蒸发装置,其特征在于,包括:真空腔体(10),所述真空腔体(10)的内壁设有蒸发槽(11);靶材(20),设于所述蒸发槽(11)内,所述靶材(20)上远离所述蒸发槽(11)底部的一侧表面配置有环形的沟槽(21);脉冲电源(12),所述脉冲电源(12)的阳极与所述真空腔体(10)相连,所述脉冲电源(12)的阴极与所述靶材(20)相连;磁性单元,设于所述真空腔体(10)的外侧,并与所述靶材(20)对应设置;所述磁性单元包括中心磁铁(13)和环形磁铁(14),所述中心磁铁(13)设于所述环形磁铁(14)的内部,所述环形磁铁(14)的极性与所述中心磁铁(13)的极性相反,并且所述靶材(20)位于所述中心磁铁(13)的磁力线覆盖范围之内;环形线圈(15),所述环形线圈(15)设于所述环形磁铁(14)的外侧,并套设在所述真空腔体(10)的外围,所述环形线圈(15)能够沿所述真空腔体(10)的外壁往返移动;所述环形线圈(15)与升降组件相配合;所述升降组件包括升降台(71)和支撑柱(72),所述升降台(71)套设在所述支撑柱(72)上,所述环形线圈(15)设于所述升降台(71)上;所述升降台(71)的下方设有推移板(73),所述推移板(73)通过连接件与所述升降台(71)相连,保证所述升降台(71)受力均衡;所述连接件包括套设在所述支撑柱(72)外侧的第一连接环体(74),所述第一连接环体(74)的底部与所述推移板(73)连接,所述第一连接环体(74)的顶部通过弹簧(78)与所述升降台(71)抵接;所述第一连接环体(74)的外侧套设有第二连接环体(76),所述第二连接环体(76)的顶部与所述升降台(71)连接,具有减振、降噪效果,并可保证连接件整体移动的平稳性;所述第一连接环体(74)的上端配置有第一凸缘(75),所述第二连接环体(76)的下端配置有第二凸缘(77),所述第一凸缘(75)位于所述第二凸缘(77)的上方,并且所述第一凸缘(75)与所述第二连接环体(76)的内壁抵接,所述第二凸缘(77)与所述第一连接环体(74)的外壁抵接,有助于局部热量的消散。

全文数据:

权利要求:

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