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申请/专利权人：纳狮新材料有限公司杭州分公司;纳狮新材料有限公司;东莞瀚晶纳米材料有限公司

摘要：本发明公开了一种电弧蒸发装置，属于电弧离子镀技术领域，包括：真空腔体，其内壁设有蒸发槽；靶材，设于蒸发槽内，靶材上远离蒸发槽底部的一侧表面配置有环形的沟槽；脉冲电源，脉冲电源的阳极与真空腔体相连，阴极与靶材相连；磁性单元，设于真空腔体的外侧，并与靶材对应设置；包括中心磁铁和环形磁铁，中心磁铁设于环形磁铁的内部，环形磁铁的极性与中心磁铁的极性相反，并且靶材位于中心磁铁的磁力线覆盖范围之内；环形线圈。本发明结构简单、易维护，并且能够有效降低涂层液滴，降低涂层表面粗糙度。

主权项：1.一种电弧蒸发装置，其特征在于，包括：真空腔体（10），所述真空腔体（10）的内壁设有蒸发槽（11）；靶材（20），设于所述蒸发槽（11）内，所述靶材（20）上远离所述蒸发槽（11）底部的一侧表面配置有环形的沟槽（21）；脉冲电源（12），所述脉冲电源（12）的阳极与所述真空腔体（10）相连，所述脉冲电源（12）的阴极与所述靶材（20）相连；磁性单元，设于所述真空腔体（10）的外侧，并与所述靶材（20）对应设置；所述磁性单元包括中心磁铁（13）和环形磁铁（14），所述中心磁铁（13）设于所述环形磁铁（14）的内部，所述环形磁铁（14）的极性与所述中心磁铁（13）的极性相反，并且所述靶材（20）位于所述中心磁铁（13）的磁力线覆盖范围之内；环形线圈（15），所述环形线圈（15）设于所述环形磁铁（14）的外侧，并套设在所述真空腔体（10）的外围，所述环形线圈（15）能够沿所述真空腔体（10）的外壁往返移动；所述环形线圈（15）与升降组件相配合；所述升降组件包括升降台（71）和支撑柱（72），所述升降台（71）套设在所述支撑柱（72）上，所述环形线圈（15）设于所述升降台（71）上；所述升降台（71）的下方设有推移板（73），所述推移板（73）通过连接件与所述升降台（71）相连，保证所述升降台（71）受力均衡；所述连接件包括套设在所述支撑柱（72）外侧的第一连接环体（74），所述第一连接环体（74）的底部与所述推移板（73）连接，所述第一连接环体（74）的顶部通过弹簧（78）与所述升降台（71）抵接；所述第一连接环体（74）的外侧套设有第二连接环体（76），所述第二连接环体（76）的顶部与所述升降台（71）连接，具有减振、降噪效果，并可保证连接件整体移动的平稳性；所述第一连接环体（74）的上端配置有第一凸缘（75），所述第二连接环体（76）的下端配置有第二凸缘（77），所述第一凸缘（75）位于所述第二凸缘（77）的上方，并且所述第一凸缘（75）与所述第二连接环体（76）的内壁抵接，所述第二凸缘（77）与所述第一连接环体（74）的外壁抵接，有助于局部热量的消散。

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