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申请/专利权人：日本碍子株式会社
申请日：2021-02-02
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN113207199B
主分类号：H05B3/02
分类号：H05B3/02;H05B3/26;H01L21/67
优先权：["20200203 JP 2020-016115"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.10#授权;2021.08.20#实质审查的生效;2021.08.03#公开
摘要：本发明提供一种陶瓷加热器。陶瓷加热器10具备：在表面具有晶片载置面20a的陶瓷板20；埋设在陶瓷板20中的电阻发热体22、24；从陶瓷板20的背面20b支撑陶瓷板20的筒状轴40；设置于陶瓷板20的背面20b中被筒状轴40包围的轴内区域20d的凹部21；设置于凹部21的侧面21a而向电阻发热体22、24供给电力的端子23a、23b、25a、25b。
主权项：1.一种陶瓷加热器，具备：陶瓷板，其在表面具有晶片载置面；电阻发热体，其埋设在所述陶瓷板中；筒状轴，其从所述陶瓷板的背面支撑所述陶瓷板；凹部，其设置在所述陶瓷板的所述背面中被所述筒状轴包围的轴内区域；以及端子，其向所述电阻发热体供给电力，并设置为在所述凹部的侧面露出，所述端子在所述凹部的侧面的与所述凹部的侧面的表面相比进一步凹陷的位置露出，陶瓷加热器具备与所述端子连接且配置于所述筒状轴的内部空间的供电部件，所述供电部件为L字状。
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