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一种沉积炉 

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申请/专利权人:包头晶旭碳碳科技有限公司

摘要:本实用新型适用于沉积炉技术领域,提供了一种沉积炉,包括上炉体,上炉体底部滑动配合有下炉体;上炉体外周侧面固定有若干梯形柱,若干梯形柱之间固定有定位环,其中两梯形柱底部均固定有U形滑框,定位环底部固定有支撑杆,支撑杆底部固定有底座,其中两底座相对两侧面均固定有L形挡板,L形挡板一侧固定有气缸;下炉体周侧面固定有对称的两滑块,滑块相对两侧面均固定有第一销轴,第一销轴周侧面转动配合有提拉臂,两提拉臂一侧靠近底部均转动配合有第二销轴,两第二销轴之间固定有推板,该沉积炉简化了下炉体与上炉体之间的传动过程,使得化学气体与待化学沉积物充分接触,提高了下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性,增加了化学沉积效果。

主权项:1.一种沉积炉,包括上炉体1,所述上炉体1底部滑动配合有下炉体2;其特征在于:所述上炉体1外周侧面固定有若干梯形柱3,若干所述梯形柱3之间固定有定位环4,其中两所述梯形柱3底部均固定有U形滑框5,所述定位环4底部固定有支撑杆6,所述支撑杆6底部固定有底座7,其中两所述底座7相对两侧面均固定有L形挡板8,所述L形挡板8一侧固定有气缸9;所述下炉体2周侧面固定有对称的两滑块10,所述滑块10相对两侧面均固定有第一销轴11,所述第一销轴11周侧面转动配合有提拉臂12,两所述提拉臂12一侧靠近底部均转动配合有第二销轴13,两所述第二销轴13之间固定有推板14,所述推板14一侧固定有安装筒15,所述安装筒15与气缸9伸缩端固定安装。

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权利要求:

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