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申请/专利权人：包头晶旭碳碳科技有限公司
申请日：2023-10-11
公开（公告）日：2024-05-10
公开（公告）号：CN220926926U
主分类号：C23C16/44
分类号：C23C16/44;C23C16/26
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.05.10#授权
摘要：本实用新型适用于沉积炉技术领域，提供了一种沉积炉，包括上炉体，上炉体底部滑动配合有下炉体；上炉体外周侧面固定有若干梯形柱，若干梯形柱之间固定有定位环，其中两梯形柱底部均固定有U形滑框，定位环底部固定有支撑杆，支撑杆底部固定有底座，其中两底座相对两侧面均固定有L形挡板，L形挡板一侧固定有气缸；下炉体周侧面固定有对称的两滑块，滑块相对两侧面均固定有第一销轴，第一销轴周侧面转动配合有提拉臂，两提拉臂一侧靠近底部均转动配合有第二销轴，两第二销轴之间固定有推板，该沉积炉简化了下炉体与上炉体之间的传动过程，使得化学气体与待化学沉积物充分接触，提高了下炉体与上炉体闭合分离时的稳定性，增加了化学沉积效果。
主权项：1.一种沉积炉，包括上炉体1，所述上炉体1底部滑动配合有下炉体2；其特征在于：所述上炉体1外周侧面固定有若干梯形柱3，若干所述梯形柱3之间固定有定位环4，其中两所述梯形柱3底部均固定有U形滑框5，所述定位环4底部固定有支撑杆6，所述支撑杆6底部固定有底座7，其中两所述底座7相对两侧面均固定有L形挡板8，所述L形挡板8一侧固定有气缸9；所述下炉体2周侧面固定有对称的两滑块10，所述滑块10相对两侧面均固定有第一销轴11，所述第一销轴11周侧面转动配合有提拉臂12，两所述提拉臂12一侧靠近底部均转动配合有第二销轴13，两所述第二销轴13之间固定有推板14，所述推板14一侧固定有安装筒15，所述安装筒15与气缸9伸缩端固定安装。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 包头晶旭碳碳科技有限公司 一种沉积炉
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