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申请/专利权人：昆山东威科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种上下料机构，包括物料装卸模块和多个驱动单元。物料装卸模块包括装卸架和多个夹持组件，夹持组件一一对应设置于驱动单元，以通过多个驱动单元自动控制多个夹持组件夹持或卸下多个硅片，实现其自动上下料效率的提高，缩短了上下料时间。每个夹持组件均包括对称设置的第一夹爪和第二夹爪，第一夹爪固连于装卸架，第二夹爪的第二夹持部能通过驱动单元相对靠近或远离于第一夹爪的第一夹持部，从而能够有效降低所需驱动单元的能量消耗，并且由于驱动单元只需要控制第二夹爪进行运动，因此可以更集中地控制夹取硅片的过程，提高了对硅片夹持的稳定可靠性，减少了硅片损坏的风险，也降低了驱动单元发生故障的概率。
主权项：1.上下料机构，其特征在于，包括物料装卸模块1和多个驱动单元2，所述物料装卸模块1包括装卸架11和多个夹持组件12，所述夹持组件12一一对应设置于所述驱动单元2，每个所述夹持组件12均包括对称设置的第一夹爪121和第二夹爪122，所述第一夹爪121固连于所述装卸架11，所述第二夹爪122的第二夹持部能通过所述驱动单元2相对靠近或远离于所述第一夹爪121的第一夹持部，以使所述物料装卸模块1能同时装载多个待处理的硅片，并能同时卸下多个处理后的所述硅片。
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百度查询： 昆山东威科技股份有限公司 上下料机构
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