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申请/专利权人：上海哈呐技术装备有限公司
摘要：本实用新型提供一种用于溅射镀膜机的移栽机构及溅射镀膜机，溅射镀膜机具有转盘机构，转盘机构适于放置工装板，用于溅射镀膜机的移栽机构包括上轨道，下轨道，支架，升降杆组件，控制模块和传感器，上轨道位于下轨道的上方，并与下轨道平行设置，支架可转动地设置在上轨道和下轨道之间，并可沿下轨道的长度方向移动，升降杆组件竖直设置在支架内，并可相对于支架上下移动，升降杆组件适于将工装板从转盘机构上取下或将工装板挂设在转盘机构上，控制模块设置在支架上，传感器设置在升降杆组件上，用以监测转盘机构的位置信息，将位置信息传递到控制模块，如此，提高移栽机构运行的平稳性，提高了镀膜的均匀性，降低工装板脱落的可能性。
主权项：1.一种用于溅射镀膜机的移栽机构，溅射镀膜机具有转盘机构，所述转盘机构适于放置工装板，其特征在于，包括上轨道，下轨道，支架，升降杆组件，控制模块和传感器，所述上轨道位于所述下轨道的上方，并与所述下轨道平行设置，所述支架可转动地设置在所述上轨道和所述下轨道之间，并可沿所述下轨道的长度方向移动；所述升降杆组件竖直设置在所述支架内，并可相对于所述支架上下移动，所述升降杆组件适于将工装板从所述转盘机构上取下或将所述工装板挂设在所述转盘机构上；所述控制模块设置在所述支架上，所述传感器设置在所述升降杆组件上，用以监测所述转盘机构的位置信息，并将位置信息传递到所述控制模块。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海哈呐技术装备有限公司 一种用于溅射镀膜机的移栽机构及溅射镀膜机
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