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申请/专利权人:安迈特科技(北京)有限公司
摘要:本实用新型涉及真空蒸镀技术领域,公开了一种蒸发舟和真空镀膜设备,蒸发舟包括蒸发舟本体,蒸发舟本体上设置有用于容纳金属熔液的熔池,位于熔池底部的蒸发舟本体包括第一本体段,第一本体段的两端分别设置有第二本体段,沿从第一本体段向蒸发舟本体端部的方向,两个第二本体段的垂直于蒸发舟本体长度方向的横截面逐渐变小;通过上述方案,使得第二本体段对应的熔池内的温度变化梯度相对较小,避免了温度的急剧变化,提供了足够的缓冲距离,使得第一本体段对应的熔池内的金属熔液向蒸发舟本体端部方向浸润时有足够的时间蒸发,避免了金属熔液在靠近蒸发舟本体端部的位置处凝结堆积而形成“冲夹头”现象。
主权项:1.一种蒸发舟100,其特征在于,包括蒸发舟本体110,所述蒸发舟本体110上设置有用于容纳金属熔液的熔池111,位于所述熔池111底部的所述蒸发舟本体110包括第一本体段112,所述第一本体段112的两端分别设置有第二本体段113,沿从所述第一本体段112向所述蒸发舟本体110端部的方向,两个所述第二本体段113的垂直于所述蒸发舟本体110长度方向的横截面逐渐变小。
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百度查询: 安迈特科技(北京)有限公司 蒸发舟和真空镀膜设备
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