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申请/专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种真空镀膜装置，真空镀膜装置包括镀膜腔体、泵体以及挡尘组件。镀膜腔体具有镀膜腔。泵体用以对镀膜腔抽真空。挡尘组件包括冷却部，冷却部设于镀膜腔与泵体之间的气流通道。其中，冷却部配置成能够对流入泵体的空气进行降温。本实用新型的真空镀膜装置能够有效抑制靶材粉尘进入泵体，降低开腔维护频次，保障生产的持续正常运转。
主权项：1.一种真空镀膜装置，其特征在于，包括：镀膜腔体，具有镀膜腔；泵体，用以对所述镀膜腔抽真空；挡尘组件，包括冷却部，所述冷却部设于所述镀膜腔与所述泵体之间的气流通道；其中，所述冷却部配置成能够对流入所述泵体的空气进行降温。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 真空镀膜装置
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