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蒸发电极组件及镀膜设备 

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申请/专利权人:深圳市镭煜科技有限公司

摘要:本申请公开了一种蒸发电极组件及镀膜设备。其中,镀膜装置包括蒸发电极组件和蒸发舟。蒸发电极组件包括:电极主体、屏蔽件、以及绝缘部件。具体地,电极主体内设置有冷却通道。屏蔽件套设在电极主体上,屏蔽件上设置有至少一个散热部,且散热部与电极主体贴靠设置。绝缘部件套设在电极主体上并位于屏蔽件的第一端。本申请公开的蒸发电极组件及镀膜装置解决了冷却板与电极主体之间容易发生短路的问题。

主权项:1.一种蒸发电极组件,其特征在于,包括:电极主体10,所述电极主体10内设置有冷却通道;屏蔽件20,所述屏蔽件20套设在所述电极主体10上,所述屏蔽件20上设置有至少一个散热部21,且所述散热部21与所述电极主体10贴靠设置;绝缘部件30,所述绝缘部件30套设在所述电极主体10上并位于所述屏蔽件20的第一端。

全文数据:

权利要求:

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