恭喜通威太阳能(合肥)有限公司"一种扩散炉设备保护隔板"专利获国家实用新型专利权
龙图腾网恭喜通威太阳能(合肥)有限公司申请的专利一种扩散炉设备保护隔板获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN209708958U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2019-11-29发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:201920981393.7,技术领域涉及:H01L21/67(20060101);该实用新型一种扩散炉设备保护隔板是由张欢;徐硕;苏世杰;陈绍光;蔡芬设计研发完成,并于2019-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扩散炉设备保护隔板在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种扩散炉设备保护隔板,所述碳化硅桨下方设置有隔板,所述隔板固定连接于炉侧壁上,且隔板远离炉侧壁一侧固定连接有侧挡板,所述隔板下方固定连接有支撑杆,所述支撑杆与固定杆固定连接,所述固定杆与炉侧壁固定连接,所述隔板靠近碳化硅桨一侧开设有凹槽,所述凹槽中依次活动设置有上层板和下层板。本实用新型解决了现有扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上,导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片,从而影响产线产能和财产损失导致车间成本的问题,有效的避免影响车间产能和财产损失导致的成本上升。
本实用新型一种扩散炉设备保护隔板在权利要求书中公布了:1.一种扩散炉设备保护隔板,包括炉口壁1和炉侧壁2,所述炉口壁1上开设有炉门3,所述炉侧壁2上开设有底座滑道4,所述底座滑道4中移动设置有桨水平电机5,所述桨水平电机5固定连接有桨底座6,所述桨底座6靠近炉门3一侧固定夹持有碳化硅桨7,所述碳化硅桨7远离桨底座6一端连接有石英舟8,所述石英舟8上设置有硅片9,其特征在于:所述碳化硅桨7下方设置有隔板10,所述隔板10固定连接于炉侧壁2上,且隔板10远离炉侧壁2一侧固定连接有侧挡板11。
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