恭喜扬州扬杰电子科技股份有限公司"去除背面硅应力的旋转装置"专利获国家实用新型专利权
龙图腾网恭喜扬州扬杰电子科技股份有限公司申请的专利去除背面硅应力的旋转装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN210167344U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-03-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:201921635545.4,技术领域涉及:H01L21/687(20060101);该实用新型去除背面硅应力的旋转装置是由杨亚峰;王卫国;万明正;王毅设计研发完成,并于2019-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本去除背面硅应力的旋转装置在说明书摘要公布了:去除背面硅应力的旋转装置。涉及芯片加工技术领域,尤其涉及去除背面硅应力的旋转装置。提供了一种结构紧凑合理,有效避免外观不良印记和改善背面均匀性问题的去除背面硅应力的旋转装置。包括电机、传动机构、跳动轴和壳体;所述壳体呈L型,包括存储部和支撑部;所述支撑部呈板状,水平固定设置在所述存储部上,靠近底部位置;所述支撑部上设有与所述跳动轴适配的豁口;所述跳动轴活动设置在所述豁口内,并从所述豁口内凸出;所述传动机构设置在所述存储部内;所述跳动轴的一端伸入所述存储部内,与所述传动机构传动连接。本实用新型具有结构紧凑合理,有效避免外观不良印记和改善背面均匀性问题等特点。
本实用新型去除背面硅应力的旋转装置在权利要求书中公布了:1.去除背面硅应力的旋转装置,其特征在于,包括电机、传动机构、跳动轴和壳体;所述壳体呈L型,包括存储部和支撑部;所述支撑部呈板状,水平固定设置在所述存储部上,靠近底部位置;所述支撑部上设有与所述跳动轴适配的豁口;所述跳动轴活动设置在所述豁口内,并从所述豁口内凸出;所述传动机构设置在所述存储部内;所述跳动轴的一端伸入所述存储部内,与所述传动机构传动连接;所述电机固定设置在酸槽的侧壁上,靠近顶部位置,通过所述传动机构带动跳动轴旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人扬州扬杰电子科技股份有限公司,其通讯地址为:225008 江苏省扬州市邗江区平山堂北路江阳创业园三期;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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