恭喜安徽奥飞声学科技有限公司"一种MEMS结构"专利获国家实用新型专利权
龙图腾网恭喜安徽奥飞声学科技有限公司申请的专利一种MEMS结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN210183543U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-03-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:201921698665.9,技术领域涉及:H04R17/02(20060101);该实用新型一种MEMS结构是由刘端设计研发完成,并于2019-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种MEMS结构在说明书摘要公布了:本申请公开了一种MEMS结构,包括:衬底,具有空腔;压电复合振动层,包括固定端和自由端,所述固定端连接至位于所述空腔的第一侧的衬底材料上方,所述自由端悬挂在所述空腔的第二侧的衬底材料上方,所述压电复合振动层覆盖所述空腔,所述空腔的第一侧和第二侧相对设置;防漏声限位件,位于所述自由端上方并且阻挡限制所述压电复合振动层的所述自由端的偏转。基于本申请所提供的MEMS结构,能够实现对压电复合振动层的限位,降低振动梁大幅度弯曲而折断的几率,提高MEMS结构的可靠性。另一方面,防漏声限位件增大了声阻,减小了低频漏声。
本实用新型一种MEMS结构在权利要求书中公布了:1.一种MEMS结构,其特征在于,包括:衬底,具有空腔;压电复合振动层,包括固定端和自由端,所述固定端连接至位于所述空腔的第一侧的衬底材料上方,所述自由端悬挂在所述空腔的第二侧的衬底材料上方,所述压电复合振动层覆盖所述空腔,所述空腔的第一侧和第二侧相对设置;防漏声限位件,位于所述自由端上方并且阻挡限制所述压电复合振动层的所述自由端的偏转。
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