龙图腾网恭喜江苏集萃智能传感技术研究所有限公司申请的专利一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN210200735U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-03-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：201921516207.9，技术领域涉及：H01L27/146(20060101)；该实用新型一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器是由曹笈;朱滨;孙英豪;刘文朋;刘钢;谷雨设计研发完成，并于2019-09-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器，包括基底电路层，所述基底电路层上设置有电连接的光敏器件层，所述光敏器件层上设置有滤光结构层，所述滤光结构层上设置平坦层；所述滤光结构层由纳米盘阵列组成，所述纳米盘阵列包括多个子阵列，各子阵列包括多个纳米盘，相同子阵列内的纳米盘具有相同的直径和周期，不同子阵列中的纳米盘具有不同的直径和周期。利用氢化非晶硅纳米盘结构实现了彩色滤光，兼容异质基底上以及CMOS工艺，可在现有CMOS图像晶圆上沉积薄膜，制备工艺简单，非晶硅纳米盘结构利用的是米氏散射实现电偶极子和磁偶极子的共振，通过改变纳米盘几何参数可实现特定波长的光的选择，波长选择灵活，可以实现多波长滤光。

本实用新型一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器在权利要求书中公布了：1.一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器，其特征在于：包括基底电路层1，所述基底电路层1上设置有电连接的光敏器件层2，所述光敏器件层2上设置有滤光结构层3，所述滤光结构层3上设置平坦层4；所述滤光结构层3由纳米盘阵列组成，所述纳米盘阵列包括多个子阵列31，各子阵列31包括多个纳米盘，相同子阵列31内的纳米盘具有相同的直径和周期，不同子阵列31中的纳米盘具有不同的直径和周期；在所述平坦层4上还设置有微透镜阵列5。

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