恭喜北京北方华创微电子装备有限公司"工艺腔室及半导体加工设备"专利获国家实用新型专利权
龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利工艺腔室及半导体加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN210223960U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-03-31发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:201921102089.7,技术领域涉及:H01L21/67(20060101);该实用新型工艺腔室及半导体加工设备是由王乐;柳朋亮设计研发完成,并于2019-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本工艺腔室及半导体加工设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种工艺腔室及半导体加工设备,包括腔室本体、腔室盖、基座和用于产生等离子体的绝缘筒,其中,腔室盖设置在腔室本体的顶部,并在腔室盖上设置有供等离子体进入腔室本体内部的进入开口;绝缘筒设置在腔室盖上,与腔室盖上表面连接,且绝缘筒的内部与进入开口连通;基座设置在腔室本体的内部,并位于进入开口的下方,且进入开口的正投影至少完全覆盖整个基座的正投影。本实用新型提供的工艺腔室及半导体加工设备,能够减少掉落至基座上的加工副产物,从而提高基座吸附衬底的稳定性,减少清理频率,节约人力,提高生产效率。
本实用新型工艺腔室及半导体加工设备在权利要求书中公布了:1.一种工艺腔室,其特征在于,包括腔室本体、腔室盖、基座和用于产生等离子体的绝缘筒,其中,所述腔室盖设置在所述腔室本体的顶部,并在所述腔室盖上设置有供所述等离子体进入所述腔室本体内部的进入开口;所述绝缘筒设置在所述腔室盖上,与所述腔室盖上表面连接,且所述绝缘筒的内部与所述进入开口连通;所述基座设置在所述腔室本体的内部,并位于所述进入开口的下方,且所述进入开口的正投影至少完全覆盖整个所述基座的正投影。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京北方华创微电子装备有限公司,其通讯地址为:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
龙图腾网(www.lotut.com)是知识产权全产业链服务平台,平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等,通过“互联网+知识产权”的方式,整合资源与服务,为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等,提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
- 恭喜铱美表面技术(东莞)有限公司"一种塑胶零件组装治具"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜中交(广州)建设有限公司"管片下井运输装置"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜陕西省和盛食品有限公司"一种豆腐生产用黄豆清洗装置"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜衡天咨询集团有限公司"一种建筑砌墙施工装置"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜宁波锦轩建筑科技有限公司"一种钢卷上料装置"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜高斯贝尔热系统江苏有限公司"一种便于升降的井式渗碳炉"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜上海派能能源科技股份有限公司"无线组网系统"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜深圳天勺电力软件有限公司"一种方便固定的网管机"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜浙江永暉瓦楞辊有限公司"一种方便拆装的瓦楞机用瓦楞辊"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜盐城金牛电力科技有限公司"一种高压电缆生产用电缆外保护套的挤出装置"专利获国家实用新型专利权
热门推荐
- 恭喜张家港海关综合技术中心"一种材料微观图像的采集设备"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜合肥波林新材料股份有限公司"一种耐磨低噪氮化齿圈"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜合肥瑞欣康复用品用具有限责任公司"一种矫形器生产用强度检测装置"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜四川华西宜宾建设有限公司"一种防倾斜瓶装气体临时支架"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜铜陵鑫克精细化工有限责任公司"一种阻垢剂混合装置"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜江西省倍特力新能源有限责任公司"一种软包圆柱锂电池自动封装机夹具"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜河北兴华钢铁有限公司"一种炼钢厂行车二次限位装置"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜安华高(西安)建筑景观设计咨询有限公司"一种照明灯具"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜河南中杰药业有限公司"一种直线往复切药机"专利获国家实用新型专利权
- 恭喜武汉市华力机械铸造有限公司"一种防腐蚀配重块"专利获国家实用新型专利权