龙图腾网恭喜新加坡商世界先进积体电路私人有限公司申请的专利压电微机电系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN107394037B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-05-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201710239774.3，技术领域涉及：H01L41/083(20060101)；该发明授权压电微机电系统是由夏佳杰;M·普拉布哈钱德兰·奈尔;Z·斯比阿;R·P·耶勒汉卡;R·库马尔设计研发完成，并于2017-04-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本压电微机电系统在说明书摘要公布了：本发明涉及压电微机电系统，为一种在通过介电层分离的衬底上包括压电堆栈的微机电系统MEMS装置。压电堆栈包括第一压电层与第二压电层，其具有位在第一压电层与接触垫下面的第一电极、以及位在第一压电层与第二压电层间的第二电极。第一接触穿过压电层与接触垫延展至第一电极，而第二接触穿过第二压电层延展至第二电极。接触垫防止接触开口中的第一压电层与第二压电层间形成接口，从而防止压电层在接触形成过程中遭受侵蚀。

本发明授权压电微机电系统在权利要求书中公布了：1.一种用于形成微机电系统MEMS装置的方法，其包含：在衬底上形成介电层；在该介电层上形成压电堆栈，其中，该压电堆栈包含第一底电极、位在该第一底电极上的第一压电层、位在该第一压电层上的第二底电极、位在该第一压电层上的电极垫，以及位在该第一压电层、该第二底电极及该电极垫上的第二压电层，图案化该第二压电层、该电极垫及该第一压电层以形成该第一底电极上方的第一贯孔，该第一贯孔完全地延展穿过该第二压电层及该电极垫，并且部分地穿过该第一压电层；图案化该第二压电层以形成该第二底电极上方的第二贯孔，该第二贯孔部分地延展穿过该第二压电层；通过蚀刻程序将该第一贯孔完全地延展穿过该第一压电层至该第一底电极，并且将该第二贯孔完全地延展穿过该第二压电层至该第二底电极；形成该第一贯孔中的第一接触，该第一接触电耦合至该第一底电极，以及形成该第二贯孔中的第二接触，该第二接触电耦合至该第二底电极。

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