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恭喜中山市博顿光电科技有限公司"射频离子源系统及离子源设备"专利获国家实用新型专利权

龙图腾网恭喜中山市博顿光电科技有限公司申请的专利射频离子源系统及离子源设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN210866112U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-06-26发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:201922501752.7,技术领域涉及:H01J37/08(20060101);该实用新型射频离子源系统及离子源设备是由刘伟基;冀鸣;赵刚;易洪波;曾文华;刘运鸿;吴秋生设计研发完成,并于2019-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

射频离子源系统及离子源设备在说明书摘要公布了:本申请涉及一种射频离子源系统,包括:设于真空腔室外的射频匹配网络,以及置于真空腔室内的射频离子源和屏蔽外壳;所述射频离子源连接有用于对射频线圈进行水冷的水冷负载输入线以及与射频匹配网络连接的射频负载线;所述射频离子源的底部与所述屏蔽外壳的一端通过硬连接方式连接;所述屏蔽外壳另一端与安装在真空腔室上的真空法兰接头连接;所述射频负载线和所述水冷负载输入线通过所述屏蔽外壳内部贯穿到真空腔室的外部;所述屏蔽外壳用于固定所述射频离子源以及对所述射频负载线进行屏蔽保护。上述技术方案,使得射频离子源安装更加稳定,不易移位,而且使得水冷负载输入线安装过程也更加简单、方便。本申请还提供一种离子源设备。

本实用新型射频离子源系统及离子源设备在权利要求书中公布了:1.一种射频离子源系统,其特征在于,包括:设于真空腔室外的射频匹配网络,以及置于真空腔室内的射频离子源和屏蔽外壳;所述射频离子源连接有用于对射频线圈进行水冷的水冷负载输入线以及与射频匹配网络连接的射频负载线;所述射频离子源的底部与所述屏蔽外壳的一端通过硬连接方式连接;所述屏蔽外壳另一端与安装在真空腔室上的真空法兰接头连接;所述射频负载线和所述水冷负载输入线通过所述屏蔽外壳内部贯穿到真空腔室的外部;所述屏蔽外壳用于固定所述射频离子源以及对所述射频负载线进行屏蔽保护。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中山市博顿光电科技有限公司,其通讯地址为:528400 广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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