龙图腾网恭喜济南卓微电子有限公司申请的专利一种用于半导体生产的混酸恒温系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN211088227U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-07-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202020190521.9，技术领域涉及：H01L21/67(20060101)；该实用新型一种用于半导体生产的混酸恒温系统是由张运;孙者利设计研发完成，并于2020-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于半导体生产的混酸恒温系统在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种用于半导体生产的混酸恒温系统，包括用于刻蚀的酸槽，其特征是：所述酸槽的进水管和出水管分别与制冷箱连通，在制冷箱中设置用于热交换的降温盘管，降温盘管的两端分别与制冷机连通，在酸槽的进水管上设置酸泵和阀门，酸槽的进水管与酸槽的底部连通，酸槽的出水管设置在酸槽远离进水管的一侧，在酸槽的进水管上设置第一热敏电阻，第一热敏电阻与报警电路连接，在制冷机的进液管上设置第二热敏电阻，第二热敏电阻与报警电路连接。该系统可以使酸液循环并经过冷却机冷却，使酸液温度稳定，避免温度变化对刻蚀的影响。

本实用新型一种用于半导体生产的混酸恒温系统在权利要求书中公布了：1.一种用于半导体生产的混酸恒温系统，包括用于刻蚀的酸槽，其特征是：所述酸槽的进水管和出水管分别与制冷箱连通，在制冷箱中设置用于热交换的降温盘管，降温盘管的两端分别与制冷机连通，在酸槽的进水管上设置酸泵和阀门，酸槽的进水管与酸槽的底部连通，酸槽的出水管设置在酸槽远离进水管的一侧，在酸槽的进水管上设置第一热敏电阻，第一热敏电阻与报警电路连接，在制冷机的进液管上设置第二热敏电阻，第二热敏电阻与报警电路连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人济南卓微电子有限公司，其通讯地址为：250200 山东省济南市章丘明水绣源路中段；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。