龙图腾网恭喜住友大阪水泥股份有限公司申请的专利静电吸盘装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN106716619B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-09-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201580051119.4，技术领域涉及：H01L21/683(20060101)；该发明授权静电吸盘装置是由河野仁;高桥健太郎;牛坊文洋设计研发完成，并于2015-09-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本静电吸盘装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种能够增大聚焦环的静电吸附力并能够均匀地对聚焦环进行冷却的静电吸盘装置。在本发明的静电吸盘装置10中，载置台11具有在载置面24a的周围沿着聚焦环12的周向设置并对聚焦环12进行静电吸附的保持部15，保持部15具有沿着周向设置并载置聚焦环12的一对堤部16和形成在它们之间的环状的槽部17，在一对堤部16中的至少位于聚焦环12的外周侧的堤部16A上，在与聚焦环12相对的面上形成包含多个微小突起的微小突起部，或者在槽部17的底面17a设置凸部18。凸部18不与聚焦环接触，一对堤部16或多个微小突起与聚焦环12接触，与凸部18协作而对聚焦环12进行静电吸附。

本发明授权静电吸盘装置在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘装置，其特征在于，具备：载置台，设有载置板状试样的载置面；环状的聚焦环，配置在所述载置台上，将所述载置面的周围包围；及冷却单元，对所述载置台及所述聚焦环进行冷却，所述载置台具有保持部，所述保持部在所述载置面的周围沿着所述聚焦环的周向设置并对所述聚焦环进行静电吸附，所述保持部具有：一对堤部，沿着所述周向设置并载置所述聚焦环；及环状的槽部，形成在所述一对堤部之间，所述冷却单元向所述槽部供给传热气体，在所述槽部的底面设有凸部，所述一对堤部与所述聚焦环接触，所述凸部与所述聚焦环不接触，所述一对堤部与所述凸部协作而对所述聚焦环进行静电吸附。

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