布鲁克斯自动化公司L.F.沙罗克获国家专利权
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龙图腾网获悉布鲁克斯自动化公司申请的专利使传输中衬底居中的处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN105556652B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-09-15发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201480049487.0，技术领域涉及：H01L21/67(20060101)；该发明授权使传输中衬底居中的处理设备是由L.F.沙罗克设计研发完成，并于2014-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本使传输中衬底居中的处理设备在说明书摘要公布了：一种衬底处理设备，包括：限定腔室的框架，其具有限定在其中的衬底运送开口和衬底转移平面；阀，其安装到框架上，并且构造成在关闭时密封腔室的气氛，阀具有门，门可移动地设置成打开和关闭衬底运送开口；以及至少一个衬底传感器元件，其设置在门的侧部上，并且定向成感测位于衬底转移平面上的衬底。
本发明授权使传输中衬底居中的处理设备在权利要求书中公布了：1.一种衬底处理设备，包括：限定腔室的框架，其具有限定在其中的衬底运送开口和衬底转移平面；阀，其安装到所述框架上，并且构造成在关闭时密封所述腔室的气氛，所述阀具有可移动地设置成打开和关闭所述衬底运送开口的门；以及至少一个衬底传感器元件，其设置在所述门的侧部上，并且被所述门定向和定位成使得所述至少一个衬底传感器元件感测传送通过所述衬底运送开口且位于所述衬底转移平面上的衬底。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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