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恭喜布鲁克斯自动化公司"使传输中衬底居中的处理设备"专利获国家发明授权专利权

龙图腾网恭喜布鲁克斯自动化公司申请的专利使传输中衬底居中的处理设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN105556652B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-09-15发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201480049487.0,技术领域涉及:H01L21/67(20060101);该发明授权使传输中衬底居中的处理设备是由L.F.沙罗克设计研发完成,并于2014-07-08向国家知识产权局提交的专利申请。

使传输中衬底居中的处理设备在说明书摘要公布了:一种衬底处理设备,包括:限定腔室的框架,其具有限定在其中的衬底运送开口和衬底转移平面;阀,其安装到框架上,并且构造成在关闭时密封腔室的气氛,阀具有门,门可移动地设置成打开和关闭衬底运送开口;以及至少一个衬底传感器元件,其设置在门的侧部上,并且定向成感测位于衬底转移平面上的衬底。

本发明授权使传输中衬底居中的处理设备在权利要求书中公布了:1.一种衬底处理设备,包括:限定腔室的框架,其具有限定在其中的衬底运送开口和衬底转移平面;阀,其安装到所述框架上,并且构造成在关闭时密封所述腔室的气氛,所述阀具有可移动地设置成打开和关闭所述衬底运送开口的门;以及至少一个衬底传感器元件,其设置在所述门的侧部上,并且被所述门定向和定位成使得所述至少一个衬底传感器元件感测传送通过所述衬底运送开口且位于所述衬底转移平面上的衬底。

如需购买、转让、实施、许可或投资上述专利技术或类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人布鲁克斯自动化公司,其通讯地址为:美国马萨诸塞州;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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本专利喜报专利信息来源于国家知识产权局官网发布的专利公告,由龙图腾网整理发布。