龙图腾网恭喜上海升翕光电科技有限公司申请的专利蒸镀装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN211522305U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-09-18发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202020063436.6，技术领域涉及：C23C14/24(20060101)；该实用新型蒸镀装置是由林文晶;钱海涛;轩景泉设计研发完成，并于2020-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本蒸镀装置在说明书摘要公布了：本申请涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括坩埚，具有蒸发槽；盖板，盖设于蒸发槽上；喷嘴组，与蒸发槽连通，喷嘴组包括第一喷嘴组和第二喷嘴组，第二喷嘴组设置于第一喷嘴组的两端；第一喷嘴组包括多个第一喷嘴和两个端部喷嘴，第二喷嘴组包括多个第二喷嘴，端部喷嘴位于第一喷嘴组沿排列方向的端部，端部喷嘴分别与第一喷嘴和第二喷嘴邻接；端部喷嘴和与其相邻的第一喷嘴或第二喷嘴之间的间距为第一间距，相邻两个第一喷嘴之间的间距为第二间距，相邻两个第二喷嘴之间的间距为第三间距，第一间距大于第二间距，第二间距大于第三间距。本申请提供的蒸镀装置有效地提高了基材的蒸镀质量，特别是基材边缘的蒸镀质量。

本实用新型蒸镀装置在权利要求书中公布了：1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：坩埚1，具有蒸发槽11；盖板2，盖设于所述蒸发槽11上；喷嘴组3，与所述蒸发槽11连通，所述喷嘴组3包括第一喷嘴组31和第二喷嘴组32，沿所述喷嘴组3的排列方向I，所述第二喷嘴组32设置于所述第一喷嘴组31的两端；沿排列方向I，所述第一喷嘴组31包括多个第一喷嘴311和两个端部喷嘴312，所述第二喷嘴组32包括多个第二喷嘴321，所述端部喷嘴312位于所述第一喷嘴组31沿排列方向I的端部，所述端部喷嘴312分别与所述第一喷嘴311和所述第二喷嘴321邻接；所述端部喷嘴312和与其相邻的所述第一喷嘴311或所述第二喷嘴321之间的间距为第一间距H1，相邻两个所述第一喷嘴311之间的间距为第二间距H2，相邻两个所述第二喷嘴321之间的间距为第三间距H3，所述第一间距H1大于所述第二间距H2，所述第二间距H2大于所述第三间距H3。

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