恭喜明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司"梁-岛-膜应变式压力传感器"专利获国家实用新型专利权
龙图腾网恭喜明石创新(烟台)微纳传感技术研究院有限公司申请的专利梁-岛-膜应变式压力传感器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN211717679U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-10-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202020772297.4,技术领域涉及:G01L1/22(20060101);该实用新型梁-岛-膜应变式压力传感器是由刘佳林;赵立波;李富乐;周亚辉;车寿进;汪升森;孙立勇;郭晨晨;刘金涛设计研发完成,并于2020-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本梁-岛-膜应变式压力传感器在说明书摘要公布了:本实用新型公开了梁‑岛‑膜应变式压力传感器,包括四个铂金电阻、梁、敏感膜片、岛、硅基底以及玻璃衬底,所述玻璃衬底上键合有硅基底,所述硅基底上开设有真空腔室,所述敏感膜片包括中心膜、平膜以及梁,所述岛位于中心膜中心处并位于真空腔室的内侧,所述铂金电阻之间连接有电极引线,所述梁的末端与中心膜缘中部相接。本实用新型传感器采用梁‑岛‑膜结构,与传统的E型结构相比,梁的存在能提高应力集中的的效果,提高传感器的灵敏度;与传统的C型结构相比,岛的存在使得敏感膜片的挠度降低,减少非线性误差带来的影响,线性度增加。
本实用新型梁-岛-膜应变式压力传感器在权利要求书中公布了:1.梁-岛-膜应变式压力传感器,包括四个铂金电阻1、梁9、敏感膜片8、岛5、硅基底4以及玻璃衬底6,其特征在于,所述玻璃衬底6上键合有硅基底4,所述硅基底4上开设有真空腔室7,所述敏感膜片8包括中心膜10、平膜11以及梁9,所述岛5位于中心膜10中心处并位于真空腔室7的内侧,所述铂金电阻1之间连接有电极引线2,所述梁9的末端与中心膜10缘中部相接。
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