龙图腾网恭喜东晶电子金华有限公司申请的专利冷却组件和离子刻蚀机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN211719558U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-10-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202020773064.6，技术领域涉及：H01J37/32(20060101)；该实用新型冷却组件和离子刻蚀机是由詹超;王明才;江玉奇;李庆跃;骆红莉;郭雄伟;黄文俊;林土全设计研发完成，并于2020-05-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本冷却组件和离子刻蚀机在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种冷却组件和离子刻蚀机，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括至少一个水冷座、散热部件、驱动部件和水箱；至少一个水冷座用于放置所述离子枪；所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；所述驱动部件与所述散热部件相连接；所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。本实用新型所提供的冷却组件，水冷座可降低离子枪的温度，减小对加速栅极与帘栅极之间的电压的影响，并且可减慢离子刻蚀机上电器元件的老化速度，延长电器元件的寿命。

本实用新型冷却组件和离子刻蚀机在权利要求书中公布了：1.一种冷却组件，其特征在于，所述冷却组件用于离子刻蚀机，所述离子刻蚀机包括离子枪，所述冷却组件包括：至少一个水冷座，所述至少一个水冷座用于放置所述离子枪；散热部件，所述散热部件的一端与所述至少一个水冷座相连接；驱动部件，所述驱动部件与所述散热部件相连接；水箱，所述水箱包括第一进水口和第一出水口，所述第一进水口与所述至少一个水冷座相连接，所述第一出水口与所述驱动部件相连接。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东晶电子金华有限公司，其通讯地址为：321000 浙江省金华市婺城区宾虹西路555号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

龙图腾网（www.lotut.com）是知识产权全产业链服务平台，平台围绕知识产权代理、知识产权管理、商标查询、商标转让交易、专利检索、专利转让运营、科技成果转化等，通过“互联网+知识产权”的方式，整合资源与服务，为广大知识产权代理机构、科技咨询公司、律师事务所以及各类科技创新企业、科研院所、大专院校等，提供龙图腾商标专利检索分析平台、龙图腾知识产权管家、龙图腾知识产权交易平台等人工智能大数据云产品服务、知识产权服务、科技成果转移转化服务等。