龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利一种单片集成光学加速度计获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN109470885B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2020-11-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811222619.1，技术领域涉及：G01P15/03(20060101)；该发明授权一种单片集成光学加速度计是由佘玄;姚俊杰;杨哲;王晨歌;陈侃;舒晓武设计研发完成，并于2018-10-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单片集成光学加速度计在说明书摘要公布了：本发明公开了一种单片集成光学加速度计。本发明包括宽谱光源、加速度敏感单元、光电探测器、基底、制冷片、封装外壳，加速度敏感单元集成了模斑转换器、1:2型Y波导、2:1型Y波导调制器、金属电极；宽谱光源的光经过模斑转换器耦合进1:2型Y波导中，实现3dB分光，两束光经过1:2型Y波导的上下两个分支后进入2:1型Y波导调制器，最后直接耦合进入光电探测器中。本发明的光学加速度计采用马赫曾德干涉仪结构，检测由外界加速度引起的两干涉臂的相位差，不受光源光强波动的影响，探测精度高，器件单片集成在同一基底上，集成度高，体积小，制作工艺简单，具有高的可靠性和环境适应性。

本发明授权一种单片集成光学加速度计在权利要求书中公布了：1.一种单片集成光学加速度计，其特征在于：包括宽谱光源1、加速度敏感单元4、光电探测器5、基底2、制冷片3、封装外壳6；宽谱光源1、加速度敏感单元4、光电探测器5、基底2、制冷片3均位于封装外壳6内，基底2位于制冷片3上表面，基底2上表面沿光路方向依次布置有宽谱光源1、加速度敏感单元4和光电探测器5；所述加速度敏感单元4包括固定块7、第一微梁8、第二微梁9、主梁12、第一质量腿10、第二质量腿11、质量块13；固定块7与质量块13的侧面中部之间通过主梁12相连，第一微梁8和第二微梁9分别对称布置在主梁12两侧，第一质量腿10和第二质量腿11分别对称布置在主梁12两侧，第一微梁8、第二微梁9的一端均与固定块7相连，第一微梁8、第二微梁9的另一端分别与第一质量腿10、第二质量腿11的一端相连，第一微梁8、第二微梁9均连接到各自质量腿位于靠近主梁一侧的顶部边缘处的端面，第一质量腿10、第二质量腿11的另一端均与质量块13固定连接；所述固定块7底部与基底2相连，第一微梁8、第二微梁9、主梁12、第一质量腿10、第二质量腿11、质量块13均未与基底2相连，处于悬空状态；所述的加速度敏感单元4集成有模斑转换器14、1:2型Y波导15、2:1型Y波导调制器16以及金属电极17；模斑转换器14布置于固定块7靠近宽谱光源1一侧的顶面边缘处，1:2型Y波导15单独分支端布置于固定块7顶面内并与模斑转换器14相连，1:2型Y波导15的两个分支端分别经第一、第二微梁8、9延伸到第一、第二质量腿10、11，且1:2型Y波导15的两个分支端均布置于第一、第二微梁8、9、第一、第二质量腿10、11的顶面内；2:1型Y波导调制器16单独分支端布置于质量块13顶面内，2:1型Y波导调制器16的两个分支端分别布置于第一、第二质量腿10、11顶面内；1:2型Y波导15的两分支端分别与2:1型Y波导调制器16的两分支端在第一、第二质量腿10、11处相连；质量块13表面布置有三个金属电极17，其中一个金属电极17在2:1型Y波导调制器16的两分支端之间，另外两个金属电极17分别在2:1型Y波导调制器16的两分支端的外侧；宽谱光源1的光通过模斑转换器14耦合进入1:2型Y波导15后被分为两束光，两束光经1:2型Y波导15的两个分支端进入2:1型Y波导调制器16的两个分支端，最后经2:1型Y波导调制器16的单独分支端耦合进入光电探测器5中；所述加速度敏感单元4的固定块7、主梁12、第一质量腿10、第二质量腿11、质量块13均主要由从上之下的铌酸锂单晶薄膜、二氧化硅缓冲层、硅衬底依次组成；第一微梁8、第二微梁9主要由铌酸锂单晶薄膜构成；所述主梁12、第一质量腿10、质量块13的厚度均相同，第一微梁8的厚度小于第一质量腿10。

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