龙图腾网恭喜河南东微电子材料有限公司申请的专利一种用于高纯钌靶制备的升温装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN212537874U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-02-12发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202021224230.3，技术领域涉及：F23G7/06(20060101)；该实用新型一种用于高纯钌靶制备的升温装置是由王永超;赵泽良设计研发完成，并于2020-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于高纯钌靶制备的升温装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于高纯钌靶制备的升温装置，包括具有箱门的箱体，所述箱体内通过加热箱固定安装有制备罐，所述制备罐上螺纹安装有罐盖，所述箱体上安装有抽气机构，所述制备罐上固定安装有隔板，所述加热箱内通过焚烧机固定安装有导热轴，且导热轴与焚烧机的出热口相固定，所述导热轴上固定安装有多个放置机构，所述隔板与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆，所述制备罐内通过两个电动伸缩杆固定安装有两个点火杆，所述焚烧机与制备罐之间连通有排气管。优点在于：既可以对高纯钌靶制作时提供较高的温度，能够进行多次加热升温，且可以将燃烧时产生的废气进行有效的处理，可有效的节约能源的消耗，具有较高的实用价值。

本实用新型一种用于高纯钌靶制备的升温装置在权利要求书中公布了：1.一种用于高纯钌靶制备的升温装置，包括具有箱门的箱体（1），其特征在于，所述箱体（1）内通过加热箱（2）固定安装有制备罐（4），所述制备罐（4）上螺纹安装有罐盖（21），所述箱体（1）上安装有抽气机构，所述制备罐（4）上固定安装有隔板（12），所述加热箱（2）内通过焚烧机（3）固定安装有导热轴（11），且导热轴（11）与焚烧机（3）的出热口相固定，且焚烧机（3）与箱体（1）之间连通有进料管（5），所述导热轴（11）上固定安装有多个放置机构，所述隔板（12）与最下层的放置机构之间固定连接有多个导热杆（13），所述制备罐（4）内通过两个电动伸缩杆（10）固定安装有两个点火杆（20），所述焚烧机（3）与制备罐（4）之间连通有排气管（9），所述制备罐（4）上固定安装有温度传感器（16）。

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