恭喜浙江美迪凯现代光电有限公司"一种扩张机顶盘"专利获国家实用新型专利权
龙图腾网恭喜浙江美迪凯现代光电有限公司申请的专利一种扩张机顶盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN212587462U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-02-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202021930707.X,技术领域涉及:H01L21/67(20060101);该实用新型一种扩张机顶盘是由刘光辉;李飞设计研发完成,并于2020-09-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种扩张机顶盘在说明书摘要公布了:本实用新型涉及晶片加工技术领域,尤其涉及一种扩张机顶盘,其特征在于,包括圆盘状的顶盘本体,所述顶盘本体的上盘面呈向上拱起的弧形,所述顶盘本体内部设有呈螺旋状的电热丝,所述电热丝贴附在所述顶盘本体的上盘面的内侧,所述电热丝至少螺旋三圈。通过将顶盘的上盘面设置成稍微向上拱起的弧形,能够避免顶盘偶尔的下凹现象,从而避免膜片上贴附的产品晶片变形;将呈螺旋状的电热丝设置成至少螺旋三圈,能够使其在顶盘内分布更加均匀,传热更加均匀,从而使上盘面对膜片加热更加均匀,防止因加热不均而导致膜片扩张变形。
本实用新型一种扩张机顶盘在权利要求书中公布了:1.一种扩张机顶盘,其特征在于,包括圆盘状的顶盘本体(1),所述顶盘本体(1)的上盘面(2)呈向上拱起的弧形,所述顶盘本体(1)内部设有呈螺旋状的电热丝(3),所述电热丝(3)贴附在所述顶盘本体(1)的上盘面(2)的内侧,所述电热丝(3)至少螺旋三圈。
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