龙图腾网恭喜北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利高温真空炉及半导体加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111020703B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-04-09发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911365910.9，技术领域涉及：C30B29/36(20060101)；该发明授权高温真空炉及半导体加工设备是由陈志兵;李旭刚设计研发完成，并于2019-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本高温真空炉及半导体加工设备在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种高温真空炉及半导体加工设备。该高温真空炉包括：炉体、工艺管、加热器组件及电极组件，工艺管沿竖直方向设置于炉体内，且工艺管的开口位于炉体的底部，工艺管内的恒温区远离开口设置；加热器组件位于炉体内，并且套设于工艺管的外侧与恒温区的位置对应设置；电极组件一端与所述加热器组件电连接,另一端穿过所述炉体的顶壁且延伸至炉体外侧。本申请实施例可以使得炉体结构简单紧凑，从而可以便于炉体的拆装，进而可以大幅提高本申请实施例的维护及使用成本。另外由于工艺管的开口及恒温区距离较远，能够快速升温及加热工艺管的恒温区，进而可以有效提高晶圆的工艺性能及工艺效率。

本发明授权高温真空炉及半导体加工设备在权利要求书中公布了：1.一种高温真空炉，其特征在于，包括炉体、工艺管、加热器组件及电极组件；所述工艺管沿竖直方向设置于所述炉体内，且所述工艺管的开口位于所述炉体的底部，所述工艺管内的恒温区远离所述开口设置；所述加热器组件位于所述炉体内，并且套设于所述工艺管的外侧与所述恒温区的位置对应设置；所述电极组件一端与所述加热器组件电连接,另一端穿过所述炉体的顶壁且延伸至所述炉体外侧。

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