恭喜江苏软讯科技有限公司"一种通过辊涂和光罩结合制作高分辨率导电图案的方法"专利获国家发明授权专利权
龙图腾网恭喜江苏软讯科技有限公司申请的专利一种通过辊涂和光罩结合制作高分辨率导电图案的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111712046B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2021-04-09发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010606853.5,技术领域涉及:H05K3/00(20060101);该发明授权一种通过辊涂和光罩结合制作高分辨率导电图案的方法是由谢才兴;丁力;邱昭飞设计研发完成,并于2020-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种通过辊涂和光罩结合制作高分辨率导电图案的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种通过辊涂和光罩结合制作高分辨率导电图案的方法,包括以下步骤:1涂覆:在基材表面涂覆光刻胶并烘干,再涂覆催化剂涂料并进行热风固化,形成光刻胶层和催化剂涂覆层;2曝光:利用光罩对基材进行曝光,光刻胶层上的曝光区域形成交联图案;3蚀刻:通过蚀刻液,对光刻胶层上未曝光区域进行蚀刻,形成高分辨率图案;4镀敷。本发明通过在基材上涂覆光刻胶层和催化剂涂覆层,光罩对部分光刻胶进行固化,并刻蚀处理未曝光的部分,形成图案,在图案表面镀敷导电材料,实现图案的高分辨率和导电性,无需利用丝网模具、模型辊轮等进行转印,所需设备简单,成品率高,适合广泛推广与使用。
本发明授权一种通过辊涂和光罩结合制作高分辨率导电图案的方法在权利要求书中公布了:1.一种通过辊涂和光罩结合制作高分辨率导电图案的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)涂覆:取柔性无图案化的基材,在其上表面涂布光刻胶,烘干后形成光刻胶层;采用微型凹版涂布的方式在涂布有光刻胶的基材表面涂覆催化剂涂料,然后利用热风将催化剂涂料固化,形成催化剂涂覆层,制备得到基材A;2)曝光:取步骤1)中得到的基材A置于光罩内,近紫外光从光罩中发出,作用于基材A的上表面,制备得到基材B;3)蚀刻:取步骤2)中得到的基材B置于蚀刻液中处理1~2min,取清洗液对刻蚀处理后的基材B进行冲洗,冲洗时间为30~240s,再使用清水冲洗30~240s,制备得到基材C;4)镀敷:取步骤3)中得到的基材C,利用镀敷液对基材C上的高分辨率图案进行镀敷,镀敷时间为1~6min,镀敷液温度为28~45℃,基材C的图案上形成镀层,制备得到成品;所述步骤1)中的基材包括聚对苯二甲酸乙二酯膜、金属、纸和玻璃中的一种或多种,所述步骤1)中的催化剂涂料包括以下重量组分:69.5~90%纯水、2~6%醋酸钯、5~15%溶剂、3~9%分散剂、0~0.5%表面活性剂。
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