龙图腾网恭喜江苏宏润光电科技有限公司申请的专利用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN215517627U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-01-14发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202121677064.7，技术领域涉及：C23C16/50(20060101)；该实用新型用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机是由何飞;蔡鹏;李亚楠设计研发完成，并于2021-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机在说明书摘要公布了：本实用新型公开了用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，涉及perc电池加工技术领域，其结构包括覆膜系统，覆膜系统包括布置有反应腔的容器、布置在反应腔内部的镀膜组件、开设在容器表面的至少一个第一豁口和与第一豁口对应设置的可以开关闭合的观察窗；架体，架体包括柱体和在柱体表面布置的至少一个沿柱体侧边设置的凸起，凸起开设有多个豁槽，硅片放置在凸起位置处；轨迹系统包括在第一豁口二侧布置的第一轨道和第二轨道，第一轨道在反应腔外部设置，第二轨道在反应腔内部设置；载具布置为沿轨迹系统移动往返于架体和反应腔外部空间之间，相比于现有技术，本实用新型可以通过快速的将硅片放置在设备内进行覆膜，覆膜效率高，减轻工作人员负担。

本实用新型用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机在权利要求书中公布了：1.用于perc电池加工用pecvd氮化硅覆膜机，其特征在于，包括：覆膜系统1，所述覆膜系统1包括布置有反应腔的容器11、布置在反应腔内部的镀膜组件、开设在容器11表面的至少一个第一豁口和与第一豁口对应设置的可以开关闭合的观察窗12；架体2，所述架体2包括柱体22和在柱体22表面布置的至少一个沿柱体22侧边设置的凸起23，所述凸起23开设有多个豁槽，硅片放置在凸起23位置处，硅片与所述豁槽对应设置；轨迹系统3，所述轨迹系统3包括在第一豁口二侧布置的第一轨道31和第二轨道32，第一轨道31在反应腔外部设置，第二轨道32在反应腔内部设置；载具4，布置为沿所述轨迹系统3移动往返于架体2和反应腔外部空间之间，所述载具4包括移动部件、在移动部件上设置的升降组件43和连接所述升降组件43的板体44；其中，所述升降组件43带动所述板体44运动，板体44与凸起23的数目相同，当板体44运动到架体2位置处时，所述板体44与所述豁槽对齐设置。

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