恭喜广东先导微电子科技有限公司"一种制备高纯金属细晶棒的装置"专利获国家实用新型专利权
龙图腾网恭喜广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种制备高纯金属细晶棒的装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN217173939U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-08-12发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202122692885.4,技术领域涉及:C30B15/00;该实用新型一种制备高纯金属细晶棒的装置是由李清宇;何志达;朱刘设计研发完成,并于2021-11-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制备高纯金属细晶棒的装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种制备高纯金属细晶棒的装置,包括:单晶炉;设置在所述单晶炉底部的坩埚;设置在所述单晶炉侧壁上的手套真空盲板;设置在所述单晶炉内部侧壁上的原料放置架;设置在所述单晶炉内部侧壁上的晶体放置架;设置在所述坩埚上方的籽晶杆。本实用新型提供的制备高纯金属细晶棒的装置在单晶炉上安装手套真空盲板和放置架,可以对炉内进行加料和剪晶棒操作,因此可以连续生产,不用每次提拉后停炉装料,这样就可以大幅提高生产效率。
本实用新型一种制备高纯金属细晶棒的装置在权利要求书中公布了:1.一种制备高纯金属细晶棒的装置,包括:单晶炉;设置在所述单晶炉底部的坩埚;设置在所述单晶炉侧壁上的手套真空盲板;设置在所述单晶炉内部侧壁上的原料放置架;设置在所述单晶炉内部侧壁上的晶体放置架;设置在所述坩埚上方的籽晶杆;所述手套真空盲板为带有密封圈的法兰,通过螺杆-螺母的方式固定在单晶炉侧壁上,关闭法兰,将单晶炉内部的腔体封闭;设置在所述手套真空盲板下方的真空管,所述真空管与手套真空盲板内部连通;设置在所述真空管下方的真空口,所述真空口能够对单晶炉内的腔体进行抽真空处理。
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