恭喜盛合晶微半导体(江阴)有限公司"一种提高晶圆电镀厚度均匀性的结构"专利获国家实用新型专利权
龙图腾网恭喜盛合晶微半导体(江阴)有限公司申请的专利一种提高晶圆电镀厚度均匀性的结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN217468335U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2022-09-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202221309427.6,技术领域涉及:H01L21/02;该实用新型一种提高晶圆电镀厚度均匀性的结构是由王荣荣;尹佳山;周祖源;林正忠设计研发完成,并于2022-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种提高晶圆电镀厚度均匀性的结构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种提高晶圆电镀厚度均匀性的结构,所述结构至少包括:支撑基底、树脂层及辅助层,所述树脂层和所述辅助层均形成于所述支撑基底表面,所述树脂层表面和所述辅助层表面齐平。由于增加了辅助层,使得所述树脂层表面平坦无台阶,可以在所述树脂层和所述辅助层表面形成连续的晶种层,连续的晶种层在进行后续电镀工艺时可以提供连续的导电性能,从而提高电镀工艺镀层厚度的均匀性。
本实用新型一种提高晶圆电镀厚度均匀性的结构在权利要求书中公布了:1.一种提高晶圆电镀厚度均匀性的结构,其特征在于,所述结构至少包括:支撑基底、树脂层及辅助层,所述树脂层和所述辅助层均形成于所述支撑基底表面,所述树脂层表面和所述辅助层表面齐平。
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