恭喜南京湃睿半导体有限公司黄孙峰获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京湃睿半导体有限公司申请的专利一种高精度应变测量传感器获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219064410U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-05-23发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202222995736.X,技术领域涉及:G01B7/16;该实用新型一种高精度应变测量传感器是由黄孙峰;周其伟;吴敏设计研发完成,并于2022-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高精度应变测量传感器在说明书摘要公布了:本实用新型公开了传感器技术领域的一种高精度应变测量传感器,包括MEMS芯片、ASIC芯片和基板,所述ASIC芯片设置在所述基板上,所述MEMS芯片与所述ASIC芯片相连接,所述MEMS芯片与所述ASIC芯片同轴堆叠,所述MEMS芯片与ASIC芯片均固定在基板上,所述MEMS芯片、ASIC芯片及基板的中心点在一个平面上且该平面平行于基板的一个侧面,该种高精度应变测量传感器,通过对MEMS芯片和ASIC芯片进行堆叠护着对称排布的方式进行设置,使得MEMS芯片与ASIC芯片具有高度一致的应力集中特性,从而能够对各个方向上的应力进行校准,能够有效提高MEMS芯片的精度及温度稳定性。
本实用新型一种高精度应变测量传感器在权利要求书中公布了:1.一种高精度应变测量传感器,其特征在于:包括MEMS芯片1、ASIC芯片2和基板3,所述ASIC芯片2设置在所述基板3上,所述MEMS芯片1与所述ASIC芯片2相连接。
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