乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司王周杰获国家专利权
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龙图腾网获悉乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种晶圆编码识别装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219738922U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202321161702.9,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆编码识别装置是由王周杰;张明辉;权汉钊设计研发完成,并于2023-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆编码识别装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶圆编码识别装置,设有晶圆编码的晶圆面具有第一朝向和第二朝向,识别装置包括:支撑部件以及设置在支撑部件上的第一识别元件和第二识别元件,第一识别元件用于识别在第一朝向时的晶圆编码,第二识别元件用于识别在第二朝向时的晶圆编码。采用本实用新型,实现了对不同朝向上的晶圆编码进行识别,解决了现有技术中的晶圆编码识别装置无法对不同朝向上的晶圆编码进行识别的问题。
本实用新型一种晶圆编码识别装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆编码识别装置,设有晶圆编码的晶圆面具有第一朝向和第二朝向,其特征在于,所述识别装置包括:支撑部件以及设置在所述支撑部件上的第一识别元件和第二识别元件,所述第一识别元件用于识别在第一朝向时的晶圆编码,所述第二识别元件用于识别在第二朝向时的晶圆编码。
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