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乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司王周杰获国家专利权

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龙图腾网获悉乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司申请的专利一种晶圆编码识别装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219738922U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202321161702.9,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种晶圆编码识别装置是由王周杰;张明辉;权汉钊设计研发完成,并于2023-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆编码识别装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种晶圆编码识别装置,设有晶圆编码的晶圆面具有第一朝向和第二朝向,识别装置包括:支撑部件以及设置在支撑部件上的第一识别元件和第二识别元件,第一识别元件用于识别在第一朝向时的晶圆编码,第二识别元件用于识别在第二朝向时的晶圆编码。采用本实用新型,实现了对不同朝向上的晶圆编码进行识别,解决了现有技术中的晶圆编码识别装置无法对不同朝向上的晶圆编码进行识别的问题。

本实用新型一种晶圆编码识别装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆编码识别装置,设有晶圆编码的晶圆面具有第一朝向和第二朝向,其特征在于,所述识别装置包括:支撑部件以及设置在所述支撑部件上的第一识别元件和第二识别元件,所述第一识别元件用于识别在第一朝向时的晶圆编码,所述第二识别元件用于识别在第二朝向时的晶圆编码。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司,其通讯地址为:201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区飞渡路1568号7幢;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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