宇弘研科技(苏州)有限公司安礼余获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网获悉宇弘研科技(苏州)有限公司申请的专利一种涂胶显影机的显影腔体获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN219737994U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202320273636.8，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种涂胶显影机的显影腔体是由安礼余;王定国设计研发完成，并于2023-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种涂胶显影机的显影腔体在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造的涂胶显影机技术领域，具体为一种涂胶显影机的显影腔体，包括显影外腔体，所述显影外腔体的内部活动套接有显影内腔体，所述显影内腔体靠近上表面的顶端侧面活动连接有涂胶显影吸盘；所述显影内腔体的结构包括有内腔管，所述内腔管靠近下表面的底端侧面固定连接有螺纹环柱；该涂胶显影机的显影腔体中，通过在显影外腔体内设有螺纹槽和在内腔管上设置有螺纹环柱的结构，实现了显影腔体可调控的功能，达到了腔内压强可释放不会损坏腔体的效果，以及通过在内腔管上设置有压力传感器和电动旋转块结构，实现了涂胶腔管对腔内气压进行自动调控的功能，提高了吸附晶圆片的吸附力。
本实用新型一种涂胶显影机的显影腔体在权利要求书中公布了：1.一种涂胶显影机的显影腔体，其特征在于：包括显影外腔体1，所述显影外腔体1的内部活动套接有显影内腔体2，所述显影内腔体2靠近上表面的顶端侧面活动连接有涂胶显影吸盘3；所述显影内腔体2的结构包括有内腔管201，所述内腔管201靠近下表面的底端侧面固定连接有螺纹环柱202，所述内腔管201靠近上表面的顶端侧面固定连接有螺纹柱203，位于所述内腔管201靠近上表面的外壁两侧且位于所述螺纹柱203的正下方均设置有压力传感器204，位于所述压力传感器204的中部且位于所述内腔管201内壁的中部活动连接有电动旋转块205。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人宇弘研科技(苏州)有限公司，其通讯地址为：215000 江苏省苏州市工业园区娄葑北区创投工业坊10号厂房一楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号