恭喜拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司马双义获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司申请的专利一种晶圆键合的检测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN219738910U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202320937066.8，技术领域涉及：H01L21/66；该实用新型一种晶圆键合的检测装置是由马双义;王晨;李璇设计研发完成，并于2023-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆键合的检测装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆键合的检测装置。该检测装置包括：照明系统，位于待键合晶圆的第一侧，其中配置有第一物镜，用于会聚该照明系统输出的检测光线至该待键合晶圆；透明卡盘，设于该待键合晶圆的该第一侧，其中，该透明卡盘的上表面的中心区域和外缘包括多条气槽，用以吸附该待键合晶圆；以及图像采集装置，位于该待键合晶圆的第二侧，用于获取穿透该待键合晶圆的检测光线，以形成指示晶圆键合结果的检测图像。上述检测装置能够获取到待键合晶圆上所有用于指示晶圆位置的定位检测标记，并且不会受到晶圆表面反射光的干扰，不仅提升了晶圆键合的对准精度，而且进一步保证了检测精度和检测效率。
本实用新型一种晶圆键合的检测装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆键合的检测装置，其特征在于，包括：照明系统，位于待键合晶圆的第一侧，其中配置有第一物镜，用于会聚所述照明系统输出的检测光线至所述待键合晶圆；透明卡盘，设于所述待键合晶圆的所述第一侧，其中，所述透明卡盘朝向所述待键合晶圆的第一表面的中心区域和外缘包括多条气槽，用以吸附所述待键合晶圆；以及图像采集装置，位于所述待键合晶圆的第二侧，用于获取穿透所述待键合晶圆的检测光线，以形成指示晶圆键合结果的检测图像。
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