恭喜粤芯半导体技术股份有限公司邓剑宇获国家专利权
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龙图腾网恭喜粤芯半导体技术股份有限公司申请的专利半导体光刻机台管路获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN219723283U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202321002862.9，技术领域涉及：B05B1/32；该实用新型半导体光刻机台管路是由邓剑宇设计研发完成，并于2023-04-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体光刻机台管路在说明书摘要公布了：本实用新型实施例提供一种半导体光刻机台管路，该半导体光刻机台管路包括第一腔体、第二腔体以及喷头，第二腔体与喷头均与第一腔体的一端连接，第一腔体、第二腔体以及喷头之间相互连通，第二腔体内设置可活动的金属球，金属球用于根据机台管路中的大气压在第一腔体和第二腔体中移动，以对喷头进行锁止。本实用新型提供的半导体光刻机台管路可以避免化学品喷涂过程中喷嘴掉滴的问题，从而提升半导体光刻的成品质量。
本实用新型半导体光刻机台管路在权利要求书中公布了：1.一种半导体光刻机台管路，其特征在于，包括第一腔体、第二腔体以及喷头；所述第二腔体与所述喷头均与所述第一腔体的一端连接，所述第一腔体、第二腔体以及喷头之间相互连通；所述第二腔体内设置可活动的金属球，所述金属球用于根据机台管路中的大气压在所述第一腔体和所述第二腔体中移动，以对所述喷头进行锁止。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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