恭喜上海允哲机电科技有限公司王孝军获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海允哲机电科技有限公司申请的专利一种非接触式晶圆传递装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN219738933U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202321167960.8，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种非接触式晶圆传递装置是由王孝军;叶家焱;杨晓岗;陈冬云设计研发完成，并于2023-05-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种非接触式晶圆传递装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种非接触式晶圆传递装置，包括移动底座，移动底座上设有升降杆，升降杆底端安装有伯努利吸盘和若干真空吸盘；还包括控制单元，升降杆上安装有视觉检测装置和高度检测装置，控制单元根据视觉检测装置、高度检测装置的检测信息，控制移动底座在水平或竖直方向上移动。本实用新型同时设置了伯努利吸盘和真空吸盘，伯努利吸盘利用伯努利原理，在吸附隔离纸时，将隔离纸与下方晶圆分离开，真空吸盘用于增加吸附的稳固性，完成隔离纸、晶圆的移动工作。
本实用新型一种非接触式晶圆传递装置在权利要求书中公布了：1.一种非接触式晶圆传递装置，其特征在于：包括移动底座，移动底座上设有升降杆，升降杆底端安装有伯努利吸盘和若干真空吸盘；还包括控制单元，升降杆上安装有视觉检测装置和高度检测装置，控制单元根据视觉检测装置、高度检测装置的检测信息，控制移动底座在水平或竖直方向上移动。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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