恭喜江西兆驰半导体有限公司李坤获国家专利权
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龙图腾网恭喜江西兆驰半导体有限公司申请的专利一种芯片QDR清洗槽获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219723894U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202321330980.2,技术领域涉及:B08B3/08;该实用新型一种芯片QDR清洗槽是由李坤;段良飞;曾宪瑞;董国庆;文国昇;金从龙设计研发完成,并于2023-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片QDR清洗槽在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种芯片QDR清洗槽,包括槽体、过滤底板、氮气装置以及喷淋装置,槽体用于盛放DI水,过滤底板上贯穿设置有多个过滤孔,过滤孔用于过滤LED芯片因意外产生的碎片,氮气装置包括出气部、进气部和氮气输送部,氮气输送部用于提供氮气,进气部与氮气输送部连接,过滤底板和出气部均位于槽体内部、且过滤底板罩设于出气部之上,出气部上设有多个出气孔,氮气通过出气孔和过滤孔,以使DI水鼓泡,喷淋装置包括第一进水管和喷淋部,喷淋部设于第一进水管上、且喷淋部朝向槽体内部设置,本实用新型中的芯片QDR清洗槽,通过过滤底板过滤晶圆异常碎片的同时,还与氮气装置配合对晶圆进行强力清洗,最后通过喷淋装置去除残留药液,提高清洗效果。
本实用新型一种芯片QDR清洗槽在权利要求书中公布了:1.一种芯片QDR清洗槽,其特征在于,包括槽体、过滤底板、氮气装置以及喷淋装置,所述槽体用于盛放DI水,所述过滤底板上贯穿设置有多个过滤孔,所述氮气装置包括出气部、进气部和氮气输送部,所述氮气输送部用于提供氮气,所述进气部与所述氮气输送部连接,所述过滤底板和所述出气部均位于所述槽体内部、且所述过滤底板罩设于所述出气部之上,所述出气部上设有多个出气孔,所述氮气通过所述出气孔和所述过滤孔,以使所述DI水鼓泡,所述喷淋装置包括第一进水管和喷淋部,所述喷淋部设于所述第一进水管上、且所述喷淋部朝向所述槽体内部设置。
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