苏州方昇光电股份有限公司嵇永康获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州方昇光电股份有限公司申请的专利一种真空蒸镀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN219731042U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202320805071.3，技术领域涉及：C23C14/24；该实用新型一种真空蒸镀设备是由嵇永康;祝晓钊;张天强设计研发完成，并于2023-04-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空蒸镀设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及钙钛矿基片制造技术领域，尤其是指一种真空蒸镀设备，包括：真空腔体，用于置放待蒸镀的钙钛矿基片；蒸镀组件，至少一部分设于所述真空腔体内，包括线条式坩埚，所述线条式坩埚对所述钙钛矿基片释放蒸镀材料；其中，所述线条式坩埚包括坩埚本体、设于所述坩埚本体内的若干挡板、与所述坩埚本体连接的密封盖；所述挡板沿所述坩埚本体的长度方向，将所述坩埚本体的内部分隔为若干蒸镀分区，所述蒸镀分区用于置放蒸镀材料；所述密封盖设有蒸镀口，所述蒸镀分区内汽化的蒸镀材料从所述蒸镀口释出。本实用新型可实现在一个腔室内的多种材料同时共蒸，完成镀膜。
本实用新型一种真空蒸镀设备在权利要求书中公布了：1.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括：真空腔体，用于置放待蒸镀的钙钛矿基片；蒸镀组件，至少一部分设于所述真空腔体内，包括线条式坩埚，所述线条式坩埚对所述钙钛矿基片释放蒸镀材料；其中，所述线条式坩埚包括坩埚本体、设于所述坩埚本体内的若干挡板、与所述坩埚本体连接的密封盖；所述挡板沿所述坩埚本体的长度方向，将所述坩埚本体的内部分隔为若干蒸镀分区，所述蒸镀分区用于置放蒸镀材料；所述密封盖设有蒸镀口，所述蒸镀分区内汽化的蒸镀材料从所述蒸镀口释出。
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