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恭喜南京芯干线科技有限公司徐吉获国家专利权

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龙图腾网恭喜南京芯干线科技有限公司申请的专利一种分离栅沟槽MOS管器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN219738962U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2023-09-22发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202320893185.8,技术领域涉及:H01L29/423;该实用新型一种分离栅沟槽MOS管器件是由徐吉;傅玥;孔令涛设计研发完成,并于2023-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。

一种分离栅沟槽MOS管器件在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种分离栅沟槽MOS管器件,包括衬底和形成在所述衬底上的外延层,所述外延层内设有沟槽,所述沟槽的底部和部分的侧壁均设有第一氧化层;所述沟槽内沉积有第一栅极多晶硅层,所述第一栅极多晶硅层被分离为依次间隔设置的第一分离栅、第二分离栅和第三分离栅,所述第一分离栅和第二分离栅之间、以及所述第二分离栅和所述第三分离栅之间均设有第二氧化层;其中,所述第二分离栅用于连接源极。本实用新型的分离栅沟槽MOS管器件,将分离栅分成三个部分,第二分离栅用于外连接源极,第一分离栅和第三分离栅用于减弱第一氧化层角落产生尖峰电场,同时第二分离栅的宽度小于栅极的宽度,降低了电容提高了开关的速率。

本实用新型一种分离栅沟槽MOS管器件在权利要求书中公布了:1.一种分离栅沟槽MOS管器件,其特征在于:包括,衬底;形成在所述衬底上的外延层,所述外延层内设有沟槽,所述沟槽的底部和部分的侧壁均设有第一氧化层;所述沟槽内沉积有第一栅极多晶硅层,所述第一栅极多晶硅层被分离为依次间隔设置的第一分离栅、第二分离栅和第三分离栅,所述第一分离栅和第二分离栅之间、以及所述第二分离栅和所述第三分离栅之间均设有第二氧化层;其中,所述第二分离栅用于连接源极。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人南京芯干线科技有限公司,其通讯地址为:210000 江苏省南京市江宁区菲尼克斯路70号总部基地34栋1403室(江宁开发区);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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